VMP：閥組盤
特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置，用于向一個或多個工藝設(shè)備提供特種氣體，同時供應(yīng)數(shù)臺機臺，根據(jù)氣體種類進行分類，將工藝氣體純化、過濾、減壓，達到客戶需求