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特氣管道系統(tǒng)不銹鋼管徑的計算

2020-04-03 10:12:29    責任編輯: 特氣管道安裝公司     0

特氣管道系統(tǒng)不銹鋼管徑的計算


特氣管道系統(tǒng)管徑的選擇是基于氣體的大小流量,氣體壓力值對計算的巨大影響不可忽視。此外,管道中氧氣的流速較低,可選擇8m/s。


在芯片工廠的設(shè)計中,工藝設(shè)備的氣體消耗通常有兩個值,一個是峰值,另一個是平均值,對于不同的設(shè)備,峰值與平均值之間的差異是完全不同的。那么計算管道直徑的基準是什么流量?沃飛這里的技術(shù)提供了一些自己的設(shè)計經(jīng)驗供參考:



首先,芯片廠工藝設(shè)備的運行模式是間歇性的。在某一設(shè)備的運行過程中,當氣體消耗達到峰值時,會有一段短暫的時間,然后氣體消耗會下降甚至為零,導(dǎo)致峰值與平均值相差很大,甚至出現(xiàn)幾何級數(shù)的差異。


對于主管道,所有工藝設(shè)備峰值之和流量可乘以系數(shù)(一般為0.7-0.8)作為流量值,因此計算出的管徑基本滿足供氣需求。由于FAB中的所有工藝設(shè)備不可能同時達到氣體消耗的峰值,因此沒有必要使用總峰值流量作為計算基礎(chǔ)。管徑過大只會浪費錢。


對于支管甚至支管,需要根據(jù)實際情況進行具體分析。如果支管中有更多的氣點,可以使用主要的處理方法。如果用氣點不多甚至只有一個,用用氣點的總峰值流量計算更可靠。