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2020-12-17 10:49:38 責(zé)任編輯: 尾氣處理設(shè)備制造廠商 0
半導(dǎo)體制程生產(chǎn)中會(huì)用到大量的有毒腐蝕性易燃的特殊氣體、化學(xué)品和有機(jī)溶劑等原材料,這些物質(zhì)所產(chǎn)生的廢氣在冗長(zhǎng)的排氣過(guò)程中,因其氣體性質(zhì)可能會(huì)引發(fā)風(fēng)管堵塞、管路腐蝕等,導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故,所以應(yīng)先在就近的小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)進(jìn)行處理,后再進(jìn)入中央處理系統(tǒng)處理。
小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)根據(jù)處理廢氣方式,大致分四類:水洗式、氧化式、吸附式和等離子燃燒式,今天給大家介紹的是吸附式尾氣處理設(shè)備,和該設(shè)備中設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)和功能上的“安全”。
吸附式尾氣處理設(shè)備設(shè)計(jì)上:
1、小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)設(shè)計(jì)初衷是為了查漏補(bǔ)缺和應(yīng)急使用,保護(hù)環(huán)境和人員安全。
2、以吸附桶完全處理設(shè)備尾氣,確保尾氣處理的安全性處理過(guò)程中沒(méi)有危害;
3、在無(wú)塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源,沒(méi)有明火,可以減少事故的發(fā)生;
吸附式尾氣處理設(shè)備結(jié)構(gòu)上:
1、PLC 觸控面板設(shè)計(jì)和人機(jī)接口控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。
2、全面監(jiān)控:各管路進(jìn)、出口設(shè)計(jì)壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器,針對(duì)設(shè)備運(yùn)行時(shí)各種狀況,隨時(shí)監(jiān)控,避免泄漏等事故的發(fā)生。
3、尾氣出口處:安裝變頻風(fēng)機(jī),可根據(jù)進(jìn)出口壓力,調(diào)整風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速,避免廢氣回流,保護(hù)系統(tǒng)及設(shè)備安全。
4、指示劑:配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑,替代傳統(tǒng)電化學(xué)計(jì)。
尾氣處理設(shè)備功能中:
半導(dǎo)體制造生產(chǎn)的廢氣對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以一般半導(dǎo)體廠都會(huì)加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng)。但由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)遠(yuǎn),常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆炸,無(wú)法確保現(xiàn)場(chǎng)工作人員之工作安全。因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。
以上,便是關(guān)于吸附式尾氣處理設(shè)備中設(shè)計(jì)理念、結(jié)構(gòu)組成和功能作用上的“安全”介紹,今天就到這了,感謝您的閱讀!