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半導體電子特氣管道施工與設備操作

2020-02-27 14:19:35    責任編輯: 沃飛科技     0

深圳沃飛科技有限公司專業(yè)設計安裝電子特氣管道,特氣管道二次配管,特氣管道改造等,為生產企業(yè)提供安全的特氣使用供氣管道系統(tǒng)!


半導體工藝供氣管道會涉及具有易燃、劇毒、強腐蝕等氣體,是精密半導體電子元器件、新能源光電產品制造的必不可少的重要原料。生產中若發(fā)生氣體泄漏,將會造成非常嚴重的產品質量和人身傷亡事故。為確保安全,在管道施工時,對作業(yè)環(huán)境潔凈度、管道內外管材的潔凈度、焊接和安裝質量有非常高的要求。



電子特氣管道操作要點

1、管道加工
管口的加工是施工技術的關鍵點之一,管道切割、預制均在潔凈環(huán)境進行,同時確保管道切割前表面無痕跡、破損。管道開封前應做好管內沖氮的準備工作。管道在取掉兩層塑料外包裝后,要輕取兩端的塑料密封套,并立即充氮,防止空氣污染。管道切割時使用不銹鋼專用切割器緩慢進行切割,順介質下流方向沖高純氮氣,防止切屑進入管內。
管道預制切割后,采用平口機進行端面處理,去毛刺。處理過程時用高純氮氣吹掃,切割和端面處理后管上可用無塵布沾異丙醇擦試干凈,無塵布應“一次性”的原則,不可反復使用。

2自動焊接
為加強焊接質量的管理,追溯產品質量,每天正式實施焊接工作前,焊工須對焊機所焊規(guī)格進行樣本制作,檢查焊接工藝水平。在確保焊接質量合格后,方可進行正式焊接操作。每天焊接結束前,也需要制作焊接試樣。所有焊接試樣需妥善保存,并打印焊接記錄,作為質量檢驗依據(jù)并存檔。半成品和成品的保護措施應及時有效,焊接完成后及時將管子兩端密封并儲存在潔凈的保護區(qū)域里。焊接時,進行內外高純氬氣保護,建議純度不低于99.999%,通過WPK自動控制氬氣流量大小。焊接完成后,鋼絲刷刷去焊接區(qū)外表面的氧化膜,并用百潔布打磨表面。

3管道與配件及設備連接安裝
對于輸送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道,其與閥門、氣表及設備連接采用世偉洛克金屬墊片面密封接頭(VCR)安裝,金屬墊片采用柔性鎳合金墊片,確保密封嚴密。對系統(tǒng)建成后運行中的人員安全和產品質量起到了很好的基礎保障作用。

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