電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)高（超）純氣體動(dòng)力管道的基本要求是管道系統(tǒng)應(yīng)具有防止氣體在輸送過程中被有害雜質(zhì)污染而降低氣體純度，應(yīng)能滿足生產(chǎn)工藝的要求，安全運(yùn)行，盡量減少管道外壁積塵，便于檢修，注重整體美觀效果。

1潔凈廠房內(nèi)氣體動(dòng)力管道的敷設(shè)

1.1 氣體動(dòng)力管道一般包括蒸汽、壓縮空氣、氧氣、氮?dú)?、真空管道，潔凈廠房是指工藝有空氣潔凈度要求高的廠房。氣體動(dòng)力管道一般屬于GC類壓力管道。氣體動(dòng)力管道的干管一般布置在技術(shù)夾層內(nèi)、技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)有可燃、助燃和窒息性氣體時(shí)，應(yīng)有良好的通風(fēng)設(shè)施。氣體管道的干管在廠房的進(jìn)口處，宜設(shè)置入口總閥、壓力表、真空表、超壓切斷、放散管、計(jì)量裝置、減壓裝置及過濾器等。在室內(nèi)氣體干管的末端應(yīng)當(dāng)連接管徑不小于的管道，并延伸到走廊端頭或者其他適當(dāng)?shù)牡胤揭陆倒?，在下降管上裝設(shè)吹除閥，同時(shí)設(shè)置緩沖箱。吹除時(shí)裝設(shè)臨時(shí)軟管接至排風(fēng)管或其他安全地方排出。摻雜氣體的主管、支管及分支管宜明裝敷設(shè)。主、支管管末端可不設(shè)吹除閥。

1.2 高（超）純氣體管線長度應(yīng)盡量短，根據(jù)氣體耗量確定管徑，不宜設(shè)預(yù)留口，不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位；在氣體終端純化裝置的進(jìn)、出口處，關(guān)鍵工藝設(shè)備的入口處以及必須進(jìn)行取樣的管段上應(yīng)設(shè)置取樣口。

1.3 氣體管道穿過潔凈室的墻壁、樓板時(shí)，在墻壁（或樓板）的孔洞內(nèi)管道不應(yīng)有焊縫，在孔洞的兩側(cè)應(yīng)用不銹鋼板封蓋，不銹鋼板與墻壁（或樓板）之間應(yīng)加設(shè)橡膠墊，不銹鋼板用螺釘固定在墻壁（或樓板）之間，均應(yīng)涂以硅膠密封劑進(jìn)行密封。

1.4 可燃性氣體和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)裝設(shè)放散管，放散管應(yīng)高出屋脊2米。在可燃?xì)怏w支管上應(yīng)設(shè)崗位水封，在放散管上應(yīng)設(shè)置全天候阻火器。

1.5 在潔凈室內(nèi)，當(dāng)使用可燃性氣體或有毒性氣體的設(shè)備較多時(shí)，應(yīng)設(shè)置氣體濃度檢測報(bào)警裝置。

1.6 氫、氧氣或易燃易爆管道應(yīng)有可靠的防靜電接地措施。


2氣體動(dòng)力管道主材和閥門的選用：管道材料應(yīng)根據(jù)氣體純度的不同要求進(jìn)行選擇，高（超）純氣體管道材料應(yīng)具有化學(xué)穩(wěn)定性好，吸附性差，滲透性小等特性。

2.1 常用高純氣體管道應(yīng)根據(jù)所輸送的不同的氣體和用途選用不同品種的奧氏體不銹鋼管，盡量不用銅材質(zhì)造的管道，按純度要求≥99.9999應(yīng)采用不銹鋼管?！?9.99宜采用不銹鋼管。＜99.99可用無縫鋼管。氣體終端純化裝置入口側(cè)的高純氣體管道一般選用0Cr18Ni9，0Cr19Ni10有縫或無縫不銹鋼管，但對(duì)于不經(jīng)過氣體終端純化處理而直接通往用氣點(diǎn)的高純氣體管道宜采用無縫不銹鋼管。氣體終端純化裝置出口側(cè)的超純氣體管道及摻雜氣體的管道一般選用0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb無縫不銹鋼管道。接至工藝設(shè)備的管道應(yīng)選用不銹鋼管或不銹鋼波紋管道。不能使用聚四氟乙烯管或其他軟管。

2.2 輸送無毒無味氣體管如凈化干燥的壓縮空氣管、真空管等一般選用熱軋鍍鋅鋼管。

2.3 高（超）純氣體管道選用閥門應(yīng)選用密封性良好的針型閥、球閥、隔膜閥、真空閥及角閥等；并注意介質(zhì)的壓力要求，對(duì)易燃易爆氣體使用閥門時(shí)壓力應(yīng)提高1-2個(gè)等級(jí)。在潔凈室內(nèi)禁用銅和銅合金的閥門。取樣閥應(yīng)選用不銹鋼波紋管密封閥。選用閥門材料閥體、閥桿為0Cr18Ni9；波紋管為1Cr18Ni11Nb；閥座、填料為聚四氟乙烯；密封墊可用不銹鋼有色金屬或聚四氟乙烯。

2.4 視工藝生產(chǎn)、潔凈室或局部潔凈設(shè)備的潔凈度等級(jí)要求合理選用氣體管道的高效過濾器。

3 管道的連接

3.1 管道的連接應(yīng)采用特制的成型管接頭，三通彎頭等進(jìn)行套管焊接，對(duì)于不銹鋼管必須采用氬弧焊打底，施焊時(shí)在管內(nèi)通入氬氣（以高純度氬為好），其管道附件的制作材料應(yīng)與其配管材料相同。

3.2 管道與設(shè)備、閥門的連接應(yīng)視具體情況采用法蘭、螺紋、卡套或其他密封性能優(yōu)良的連接方法，螺紋連接宜采用錐螺紋連接為好，這種連接方式，不需要密封墊，但必須在螺紋部分涂上密封劑后方能擰上，不能使用密封帶。采用平螺紋連接時(shí)，必須加密封墊，其密封性亞于錐螺紋連接方式。

3.3 高（超）純氣體管與閥門，附件連接用的密封墊材料應(yīng)采用不銹鋼，有色金屬（如鎳等）、聚四氟乙烯和氟橡膠等。

3.4 管子的切割不得使用氧炔焰，可采用手工活機(jī)械切割，切口應(yīng)與管軸線垂直。管切口表面平整不得有裂紋。不銹鋼管道粘有大量油脂類灰塵，應(yīng)放入清洗槽清洗，油管道須按設(shè)計(jì)要求進(jìn)行脫脂處理。脫脂方法：脫脂溶劑采用四氯化碳、二氯乙烷或蒸餾乙醇。管道外表面脫：用浸有溶液的抹布擦抹，然后自然風(fēng)干。管道內(nèi)表面脫脂：將溶液灌入管段內(nèi)，灌入量占管段體積70%，將管段兩端堵嚴(yán)，水平放置10-15分鐘，每5分鐘滾動(dòng)一次，滾動(dòng)3-4次，倒出溶液，用氮?dú)獯蹈桑抵翢o溶液氣味為止。繼續(xù)自然放置24小時(shí)然后用木塞將管道兩段堵嚴(yán)備用。

4系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)

4.1 系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)作氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)，不得作水壓試驗(yàn)，氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)采用含塵粒徑不大于0.5um的氮?dú)獾榷栊詺怏w，以1.5倍的工作壓力進(jìn)行試驗(yàn)，保壓10分鐘，用外涂肥皂水或檢漏液檢查，以不漏為合格。

4.2 氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)合格后作氣密性試驗(yàn)，用以氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)相同的氣體以1.05-1.10倍工作壓力進(jìn)行，保壓30分鐘，用外涂肥皂水或檢漏液檢查，以不漏為合格。

4.3 氣密性試驗(yàn)合格后再進(jìn)行管道泄漏量試驗(yàn)，試驗(yàn)壓力為工作壓力，保壓24小時(shí)，以小時(shí)平均泄漏率小于5‰為合格。

4.4 吹掃和檢驗(yàn)

4.4.1 系統(tǒng)投入使用前，用干燥凈化的壓縮空氣徹底吹掃，吹掃時(shí)間一般為24小時(shí)。

4.4.2 吹掃后，用干燥凈化的壓縮空氣進(jìn)行露點(diǎn)和潔凈度檢查。

a. 露點(diǎn)檢查：用兩臺(tái)微量水份分析儀，分別設(shè)在管道系統(tǒng)始、末端，分析氣體中的水含量，管路末端的水含量不超過管路始端的水含量10%為合格。

b. 潔凈度檢查：用兩臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器分別設(shè)在管路系統(tǒng)的始、末端，分析氣體中的粒子數(shù)，管道末端大于3.5um的粒子數(shù)比管道始端的粒子數(shù)增量每升不多于3.5粒為合格。